真空回火炉可供一般金属机件在空气中进行回火以及铝合金压铸件、活塞、铝板等轻合金机件淬火、退火、时效热处理之用。外壳有钢板和型钢焊接而成，台车由型钢及钢板焊接，台车通过与炉衬的软接触和沙封机构来减少热辐射及对流损失，有效保证炉体密封性。
真空回火炉的加热与隔热衬料是在真空与高温的环境下工作，因此在选材时候都是有要求，起码可以耐高温、蒸气压低、导热系数小等，但对抗氧化性能要求不高。所以真空回火炉在选材时候，一般是选择钽、钨、钼和石墨等作为加热与隔热构料。这些材料是比较符合真空回火炉的使用的。
真空回火炉的炉壳、炉盖、电热元件、中间真空隔热门等部件，基本都在真空和受热状态下工作。长时间在这种环境工作的部件，要保证各部件的结构不会发生变形、不轻易损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。因此为了更好的保护各部件的正常使用，在根据各个部件的不同情况设置水冷装置，以保证真空回火炉能够正常运行并且能够长时间运行。
在真空回火炉内，当真空空度达到一定范围内且真空容器内的通电导体在较高的电压下，会产生辉光放电现象。严重的会产生弧光放电，这样就会烧毁许多零部件，造成重大事故和损失。
因此，真空回火炉的电热元件的工作电压，一般都不超过80－100伏。同时在电热元件结构设计时要采取有效措施，如尽量避免有些部件，电极间的间距不能太小窄，以防止辉光放电或者弧光放电的发生。
